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Facolta: Scienze Matematiche, Fisiche e NaturaliCorso: Scienza dei Materiali Anteprima dell’appunto:
In questo lavoro di tesi stata messa a punto una tecnica di deposizione basata sul magnetron sputtering, che consente la realizzazione di specchi piani a multistrato del sistema Si/Mo ottimizzati per il funzionamento con radiazione di lunghezza d’onda tra 12 e 19 nm [...]


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